| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Working Stage Travel | 355x125mm |
| X/Y-axis Travel | 200x120mm |
| Z axis | 110mm |
| Measurement Accuracy | ≤3+L/200um |
| Code# | 525-020DP |
|---|---|
| Granite Stage | (310*220) mm |
| Glass Stage | (179.5*129.5) mm |
| X/Y Axis Travel | (150*100) mm |
| Linear Scales | Resolution: 0.5um |
| Code# | 512 tot en met 350 |
|---|---|
| Grootte van de werkfase | 355 x 126 mm |
| Werkplaatsreis | 200x100mm |
| Concentratie | 90 mm |
| Nauwkeurigheid | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 511 tot en met 330 |
|---|---|
| Metalen podiumgrootte | 258 x 308 mm |
| Glazen podiumgrootte | 148x206 mm |
| Bereik van de etappe | 150 x 100 mm |
| Productdimensie | 988 x 563 x 1157 mm |
| Code# | 511 tot en met 420 |
|---|---|
| Metalen podiumgrootte | 308 x 408 mm |
| Glazen podiumgrootte | 198x306 mm |
| Bereik van de etappe | 250 x 150 mm |
| Productdimensie | 1003 x 617 x 1309 mm |
| Code# | 510 tot en met 340 |
|---|---|
| LCD het schermgrootte | 115 mm × 85 mm |
| Resolutie van het LCD-scherm | 640*480 |
| Vertoningsas | 3 assen (X,Y,Z/Q) |
| Resolutie op lineaire schaal | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Code# | 511 tot en met 340 |
|---|---|
| Metalen podiumgrootte | 258 x 358 mm |
| Glazen podiumgrootte | 148x256 mm |
| Bereik van de etappe | 200x100mm |
| Productdimensie | 988 x 563 x 1157 mm |
| Code# | 512-400 |
|---|---|
| Grootte van de werkfase | 455 x 126 mm |
| Werkplaatsreis | 300 x 150 mm |
| Concentratie | 120 mm |
| Precisiteit | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 512 tot en met 350 |
|---|---|
| Grootte van de werkfase | 355 x 126 mm |
| Werkplaatsreis | 200x100mm |
| Concentratie | 90 mm |
| Precisiteit | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Werkplaatsreis | 355 x 125 mm |
| X/Y-as Reis | 200x120 mm |
| Z-as | 110 mm |
| Meetsnauwkeurigheid | ≤3+L/200um |