| Code# | 512-400 |
|---|---|
| Grootte van de werkfase | 455 x 126 mm |
| Werkfase reizen | 300 x 150 mm |
| Focus | 120 mm |
| Nauwkeurigheid | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 512-400 |
|---|---|
| Grootte van de werkfase | 455 x 126 mm |
| Werkfase reizen | 300 x 150 mm |
| Focus | 120 mm |
| Nauwkeurigheid | ≤3+L/200 (um) |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Werkfase reizen | 355x125 mm |
| X/y-as reizen | 200x120 mm |
| Z -as | 110 mm |
| Meetnauwkeurigheid | ≤3+l/200um |
| Code# | 511 tot en met 410 |
|---|---|
| Metalen podiumgrootte | 308 x 408 mm |
| Glazen podiumgrootte | 198x306 mm |
| Bereik van de etappe | 200x100mm |
| Productdimensie | 1003 x 617 x 1309 mm |
| Code# | 525-020P |
|---|---|
| Granieten stadium | (310*220) mm |
| Glazen podium | (179.5*129.5) mm |
| X/Y -as Travel | (150*100) mm |
| X/Y lineaire schalen | Resolutie: 0,5um |
| Code# | 511 tot en met 330 |
|---|---|
| Metalen podiumgrootte | 258 x 308 mm |
| Glazen podiumgrootte | 148x206 mm |
| Bereik van de etappe | 150 x 100 mm |
| Productdimensie | 988 x 563 x 1157 mm |
| Code# | 510 tot en met 340 |
|---|---|
| LCD het schermgrootte | 115 mm × 85 mm |
| Resolutie van het LCD-scherm | 640*480 |
| Vertoningsas | 3 assen (X,Y,Z/Q) |
| Lineaire schaalresolutie | 0.1um,0.2um,0.5mm, 1mm, 2mm, 5mm |
| Code# | 525-020GP |
|---|---|
| Granieten stadium | (505*350) mm |
| Glazen podium | (356*248) mm |
| X/Y -as Travel | (300*200) mm |
| Lineaire schalen | Resolutie: 0,5um |
| Code# | 525-020ep |
|---|---|
| Granieten stadium | (390*220) mm |
| Glazen podium | (229.5*129.5) mm |
| X/Y -as Travel | (200*100) mm |
| Lineaire schalen | Resolutie: 0,5um |
| Code# | 542-310 |
|---|---|
| Werkfase reizen | 355x125 mm |
| X/y-as reizen | 200x120 mm |
| Z -as | 110 mm |
| Meetnauwkeurigheid | ≤3+l/200um |